​ CNC精密零配（pèi）件加工的特（tè）點

     超（chāo）精密零配件加工方法的特點是對外表層物質去除或添加的量能夠作（zuò）極細微的控製（zhì）。但是要獲得cnc超精密零件（jiàn）加工精度，仍有賴於精密的加工設備和準確的（de）克製係統，並（bìng）采用超精密掩膜（mó）作中介物。例（lì）如超大規模集成電路（lù）的製版即使采用電子（zǐ）束對掩膜上的（de）光致（zhì）抗蝕劑（見光刻（kè））舉行（háng）曝射，使光致抗蝕劑的（de）原（yuán）子在電子撞擊（jī）下（xià）直接聚合(或分解)，再（zài）用顯影劑把聚合過的或未聚合（hé）過的部分溶解掉，製成掩膜。電子束曝射製版必要采用工作台定位精度高達±0.01微米的（de）超精密加工設備。

    超精密零配件加工，主（zhǔ）要有超精密車削、鏡麵（miàn）磨削和研磨等。在超精密車床上用通過精細研磨的單晶金剛石車刀舉行微量（liàng）車削,切削厚度僅1微米（mǐ）左右，常用於加工有色（sè）金屬材料的球麵（miàn）、非球麵和平麵的反射鏡等高精度、外表高度光潔的零件。例如加工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球麵反射鏡，高精度可達0.1微米，外表粗糙度為Rz0.05微米。

     超精密零配件加（jiā）工（gōng）精度以納米，甚至後以原（yuán）子單位(原（yuán）子（zǐ）晶格距離為0.1～0.2納米)為（wéi）目標時，超精密零件切削加工方法已不能適應，必（bì）要借助特種精密零（líng）配件加工的方法，即（jí）應用化學能、電化學能、熱能（néng）或電（diàn）能等，使這（zhè）些能量超越（yuè）原子間的聯（lián）合能，從而去除工件外表的部（bù）分原子間的附著、聯合或晶格變形，以達到超精密加工的目的。屬於這類加工的有機械化學拋光、離子濺射和離子注入、電子束曝射（shè）、激光束加工、金屬蒸鍍和分子束（shù）外延（yán）等。